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钨坩埚是由高纯钨经粉末冶金、锻造或旋压工艺制成的耐高温容器,熔点高达3422℃,在高温下具有极低的蒸气压和优异的抗腐蚀性能。主要用途集中在以下领域:
一、蓝宝石晶体生长
泡生法(Kyropoulos法)与热交换法(HEM法)主容器:钨坩埚盛装氧化铝熔体(熔点约2050℃),在高温下不与熔体反应,保证蓝宝石晶体的高纯度。是目前蓝宝石长晶炉中最核心的耗材之一。
二、稀土金属熔炼与提纯
稀土金属制备:用于熔炼钕、镨、镝、铽等高活性稀土金属及其合金。钨坩埚耐高温且不与熔融稀土发生明显反应,避免杂质引入。
蒸馏与区域提纯:在高真空环境中对稀土金属进行蒸馏提纯时,钨坩埚作为盛装熔体的容器。
三、真空镀膜与蒸发镀膜
电子束蒸发源:在光学薄膜、装饰涂层、功能性涂层的制备中,钨坩埚作为电子束轰击的靶材容器,盛装金、银、铂、二氧化硅、氧化锆等蒸发材料。
电阻蒸发舟:加工成舟形坩埚,直接通电加热使镀膜材料熔化蒸发。
四、高温烧结与热处理
特种陶瓷烧结:用于氮化硅、碳化硅、氧化铝陶瓷在高温下的无压烧结或热压烧结辅助容器。
金属粉末烧结:钨、钼、钽等难熔金属粉末的预烧结或最终烧结成型。
五、半导体与光电材料
化合物半导体晶体生长:在垂直梯度凝固法(VGF)或液封直拉法(LEC)生长砷化镓、磷化铟等晶体时,作为容纳熔体的坩埚。
光纤预制棒制备:在改进化学气相沉积法(MCVD)中用作衬底管或反应容器。
六、科研与分析检测
高温热分析:在差示扫描量热仪(DSC)、热重分析仪(TGA)中,用作耐高温样品池。
高温物性测试:测量熔体粘度、表面张力、接触角等物理性质时的容器。
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